1994年12月，臨沂地區改製爲地級臨沂市，分爲蘭山、河東、羅莊3個縣級行政區。地級臨沂市轄蘭山、羅莊、河東3區和郯城、蘭陵、莒南、沂水、沂南、平邑、費縣、蒙陰、臨沭9縣。
截止2015年底，臨沂市轄蘭山、羅莊、河東3個區和郯城、蘭陵、沂水、沂南、平邑、費縣、蒙陰、莒南、臨沭9個縣，臨沂高新技術產業開發區、臨沂經濟技術開發區、臨沂臨港經濟開發區3個開發區，共計156個鄉鎮辦事處，3990個行政村,人口1124萬人。
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